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全新CKD小型流量传感器 气体用

全新CKD小型流量传感器 气体用

产品型号: FSM2-PVF101-H081

所属分类:CKD气动元件

更新时间:2020-12-07

简要描述:全新CKD小型流量传感器 气体用
较适合半导体、液晶制造领域的用途。
无需直管部位,内置新的整流机构,上游侧和下游侧
大流量、小体积,流量范围:0.5~1000ℓ/min500、

详细说明:

全新CKD小型流量传感器 气体用
功能特点:
双画面双色显示气体用小型流量传感器。
均无需直管部位,可自由设置。双方向测量,显示一体型、
1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。
硅微加工的白金传感器芯片,实现50m/sec的响应速度。
适合半导体、液晶制造领域的用途。
无需直管部位,内置新的整流机构,上游侧和下游侧
大流量、小体积,流量范围:0.5~1000ℓ/min500、
洁净规格,标配有P70(防止发尘)、P80(禁油规格)产品。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
双向型可任意设定流向进行测量。高速响应,采用经过

全新CKD小型流量传感器 气体用
技术规格:
温度特性 ±0.2%F.S./°C以内(15~35°C、25°C基准)
绝缘体外径φ1.0 具备功能 流量显示、流量显示峰值保持、开关输出、模拟输出等
使用环境温度·湿度 0~50°C,90%RH以下
重复性 ±1%F.S.以内 响应时间  50ms以下 流体温度 0~50°C(不得结露)
Z高使用压力 0.7MPa 低使用压力 -0.09MPa 耐压 1MPa
使用范围 单向型:3~100%F.S.,双向型:-100~-3%F.S.,3~100%F.S.
直线性(显示·模拟输出) ±3%F.S.以内(2侧大气开放)
消耗电流 注10 50mA以下 导线 φ3.7 相当于AWG26×5芯(接插件连接),
压力特性 ±5%F.S.以内(-0.09~0.7MPa,2侧大气开放基准)

 

 



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