全新CKD小型流量传感器 气体用 功能特点: 双画面双色显示气体用小型流量传感器。 均无需直管部位,可自由设置。双方向测量,显示一体型、 1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。 硅微加工的白金传感器芯片,实现50m/sec的响应速度。 适合半导体、液晶制造领域的用途。 无需直管部位,内置新的整流机构,上游侧和下游侧 大流量、小体积,流量范围:0.5~1000ℓ/min500、 洁净规格,标配有P70(防止发尘)、P80(禁油规格)产品。 备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。 双向型可任意设定流向进行测量。高速响应,采用经过 
全新CKD小型流量传感器 气体用 技术规格: 温度特性 ±0.2%F.S./°C以内(15~35°C、25°C基准) 绝缘体外径φ1.0 具备功能 流量显示、流量显示峰值保持、开关输出、模拟输出等 使用环境温度·湿度 0~50°C,90%RH以下 重复性 ±1%F.S.以内 响应时间 50ms以下 流体温度 0~50°C(不得结露) Z高使用压力 0.7MPa 低使用压力 -0.09MPa 耐压 1MPa 使用范围 单向型:3~100%F.S.,双向型:-100~-3%F.S.,3~100%F.S. 直线性(显示·模拟输出) ±3%F.S.以内(2次侧大气开放) 消耗电流 注10 50mA以下 导线 φ3.7 相当于AWG26×5芯(接插件连接), 压力特性 ±5%F.S.以内(-0.09~0.7MPa,2次侧大气开放基准) |