CKD小型流量传感器气体用

产品型号： FSM2-PVF101-H081

所属分类：CKD气动元件

更新时间：2022-12-05

简要描述：CKD小型流量传感器气体用
较适合半导体、液晶制造域的用途。
无需直管部位，内置新的整流机构，上游侧和下游侧
大流量、小体积，流量范围：0.5～1000ℓ/min500、

详细说明：

CKD小型流量传感器气体用
功能特点：
双画面双色显示气体用小型流量传感器。
均无需直管部位，可自由设置。双方向测量，显示一体型、
1000L/min型实现了比原有体积减少30%的小型化。
硅微加工的白金传感器芯片，实现50m/sec的响应速度。
适合半导体、液晶制造域的用途。
无需直管部位，内置新的整流机构，上游侧和下游侧
大流量、小体积，流量范围：0.5～1000ℓ/min500、
洁净规格，标配有P70（防止发尘）、P80（禁油规格）产品。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
双向型可任意设定流向进行测量。高速响应，采用经过

CKD小型流量传感器气体用
技术规格：
温度特性 ±0.2%F.S./°C以内（15～35°C、25°C基准）
缘体外径φ1.0 具备功能流量显示、流量显示峰值保持、开关输出、模拟输出
使用环境温度·湿度 0～50°C，90%RH以下
重复性 ±1%F.S.以内响应时间 50ms以下流体温度 0～50°C（不得结露）
Z高使用压力 0.7MPa 低使用压力 -0.09MPa 耐压 1MPa
使用范围单向型：3～100％F.S.，双向型：-100～-3％F.S.，3～100％F.S.
直线性（显示·模拟输出） ±3%F.S.以内（2侧大气开放）
消耗电流注10 50mA以下导线 φ3.7 相当于AWG26×5芯（接插件连接），
压力特性 ±5%F.S.以内（-0.09～0.7MPa，2侧大气开放基准）