SUNX晶圆校准传感器重要参数HD-T1030 特点 无需任何安全措施 施工简便 低消耗电流70mA以下 高分辨率30μm 无需光轴调整 配备系数和偏移量调整功能 技术参数 检测头 检测宽度 30mm(直线性按照28mm的宽度规定) 检测距离 30mm(固定)(注2) 环境性能 保护构造 IP40(IEC) 使用环境温度 0~+40℃(注意不可结露),存储时:-20~+55℃ 使用环境湿度 35~85%RH、存储时:35~85%RH 使用环境照明度 白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度3,000lx以下 耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 耐振动 频率10~150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时 耐冲击 加速度490m/s²(约50G) X,Y和Z方向各3次 投光元件 红色LED(投光波峰波长:650nm) 受光元件 光电二极管 材质 本体外壳:PEI、前罩部:玻璃、安装基座:铝 电缆 耐热PVC电缆0.5m末端带连接器 (注2): 出厂时固定于安装基座状态下的值。 控制器 电源电压 24V DC±10% 脉动P-P10%以下 消耗电流 70mA以下(含检测头) 模拟输出 模拟电压 ・输出电压:1±0.5V(全遮光时)~5±0.5V(全入光时) ・输出阻抗:75Ω 量程调整功能 装备15圈无限制调节器,可调整模拟输出电压的量程 转移调整功能 装备15圈无限制调节器,可调整模拟输出电压的偏置 预热时间 30分以上 反应时间 0.5ms以下(8V/ms以上) 分辨率 30μm(注2) 直线性 ±1.0%F.S.(检测位置中心的检测宽度28mm)(注3) 温度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3) (注2): 分辨率为模拟输出的峰值~峰值距离换算值(20MHz以下带域)。 (注3): 检测头和控制器组合后测定时的代表示例。 SUNX晶圆校准传感器重要参数HD-T1030 |